荷兰ASML公司去年交付26台EUV光刻机,台积电斩获一半订单

根据最新的数据显示,光刻机生产巨头、荷兰ASML公司去年一共交付了26台极紫外光刻机(EUV),极紫外光刻机一般被用于先进的生产工艺,是晶圆代工厂生产芯片最重要的设备。

数据显示,在去年交付的26台极紫外光刻机中,大约有一半最终交付给了台积电,另外一半则流向了三星、英特尔等有晶圆业务的公司。其中2019年第四季度共交付了8台。

在这26台极紫外光刻机当中,有9台是型号为NXE:3400C的最新极紫外光刻机,这些新型号的光刻机被用于7nn EUV工艺的制造。而在已经交付的用于生产7nm EUV工艺的光刻机当中,台积电的需求量最大。

以最先进的极紫外光刻机为例,目前ASML公司每年的产能也就几十台,除了台积电以外,三星、英特尔等公司也有大量的需求。受制于产能、技术封锁等原因,国内的晶圆代工厂商想要购买一台先进的极紫外光刻机自然是难上加难。

截止到目前为止,国内最先进的制程还停留在14nm水平,这也是在去年年底才量产。即使是普通的7nm工艺光刻机,恐怕也要等到2021年才有可能交付。

ASML(阿斯麦)公司总部位于荷兰Veldhoven市,公司的生产基地和研发中心主要集中在美国、荷兰和中国台湾,在日本、韩国等地区也设有研发部门。

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